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杨凡走进厂房大楼没多久,就见到了一楼前台,这里也有一位参与了杨凡内训的保安守护着。
“杨总、沈总,你们好!”保安问候了一声道。
“你也好!”沈梦晴和杨凡点头回道。
说是厂房,其实这里的一切看起来都不像是厂房的样子,干净、明亮、整治,充满了现代化,倒有点像办公楼的感觉。
之前安装设备时,他来过一次,后来试生产的时候,他又来了一次,倒是对这里的布置很熟悉,经过前台,杨凡便直奔一楼的晶圆生产线。
芯片是精密的器件,制造晶圆的过程中是要保持无尘的。杨凡和沈梦晴在更衣室换上无尘服、帽、鞋、手套、口罩等,因为不是很熟练,足足花费了半小时的时间,这还是手脚比较灵活的,手脚笨一点的第一次穿上时,花四十分钟到一个小时的时间也不奇怪。
杨凡换完后,公共区等了一会儿才见到沈梦晴走出更衣室。看着她身穿宽松的无尘服,头戴无尘帽,帽子罩住了她的头发,并且半面脸也被戴着的口罩给遮住了,杨凡差点认不出她来了。不过虽然无尘服有点宽松,杨凡还是能隐隐约约看到她的曲线的。
感叹完沈梦晴的曲线,他们又来到了风淋室,他们必须站在这里,被大风猛吵几秒钟的时间,然后才能真正走进生产车间,据说是为了吹掉衣服上的尘粒。等所有流程都做完,杨凡两人才进到了无尘车间。
晶圆是制造半导体芯片的基本材料,最主要的原料是硅,因此对应的就是硅晶圆。
硅在自然界中以硅酸盐或二氧化硅的形式广泛存在于岩石、砂砾中,硅晶圆的制造可以归纳为三个基本步骤:硅提炼及提纯、单晶硅生长、晶圆成型。
首先是硅提纯,将沙石原料放入一个温度约为2000 ℃,并且有碳源存在的电弧熔炉中,在高温下,碳和沙石中的二氧化硅进行化学反应,碳与氧结合,剩下硅,得到纯度约为98%的纯硅,不过这种纯度的硅还不够纯,因为半导体材料的电学特性对杂质的浓度是非常敏感的,因此对硅还要进行进一步提纯,就是将这种硅再与盐酸进行氯化反应,生成液态的硅烷,然后通过蒸馏和化学还原工艺,得到了高纯度的多晶硅,其纯度高达999999999%,成为电子级硅。
进到无尘车间,杨凡从第一个工序开始,直接来到了一个圆圆的五人抱大小的电弧炉前,电弧炉的旁边还有一个梯架,梯架有两个位置,此时有两人站在那里,对着电弧炉指指点点,电弧炉的前边也站着几个人,其中一个是操作工作,在忙着操作电弧炉,其他几个则是研究者。
“杨总、沈总,你们来了!”下面的几个人看到了杨凡两人的到来,便打了招呼。
“要不要叫莫工?”其中一位研究员问道。
莫工是公司挖来的专家,对半导体生产设备的研究很有名,曾经长期在米国的应用材料公司任职。应用材料公司是全球最大的半导体设备和服务供应商,主要产品为芯片制造相关类产品,例如原子层沉积、化学气相沉积、电镀、侵蚀、化学机械抛光,测量学和硅片检测等。
虽然大家都带着头盔和口罩,穿着无尘服,但杨凡还是一眼认出了莫工,此时他就站在观察梯上,离自己比较近的那一个,戴着一副老花眼镜,眼镜金丝花边,很好辨认。
“不用了,我在这等就可以了!”杨凡摆了摆手道,然后和沈梦晴站在一边,等着他们下来。
没多久,上边两人注意到了杨凡和沈梦晴两人,他们便下了梯架,来到杨凡面前。
“杨总、沈总!”
“莫工!”
打过招呼后,杨凡问道:“莫工,怎么样,有把握吗?”
莫工他们这一些人便是杨凡招进公司研发芯片生产设备的团队,之前有过沟通,说是在研发28光刻机。因为芯片生产设备大部分其实已经实现了国产,只是一些关键的设备,比如光刻机,还没有实现国产。
“设计倒是没有问题,问题在于组成光刻机的光学器件国内没有,必须依赖于进口。”对于杨凡的问题,莫工立刻明白了,便回答道。
“那能进口吧?”杨凡又问。
“能,毕竟28纳米对于他们来说是比较落后的了,落后了不止二三代。”莫工语气忽地一沉道。
也是!想着英特尔的正在试量产阶段的4纳米的硅晶片,杨凡心里不由得苦涩。这差距,照正常来说,国家至少还要猛追二十年才能追得上,途中还不能走错路。
尔后,杨凡心中又宽泛起来,自己可是非正常发展的。
“那就好,没关系,我们很快就会追上来的!”杨凡肯定道。
“我也相信!”莫工以为杨凡只是在安慰他,他便附和道。
杨凡看他表情便知道他不相信了,不过他没有解释什么,只是笑了笑。以后他就知道了,希望不要大跌眼镜。
“设计图回去发到我邮箱,我看看。”杨凡道。
“好!”莫工点头道。
“你们随意,我随便转转。”杨凡又对着他们说道。
“好的,杨总!”众人回答。
告别众人,杨凡带着沈梦晴又参观了多晶硅“长晶”成单晶硅晶棒的过程。接着又观摩了硅晶棒的切段,滚磨,切片,倒角,抛光,激光刻等流程,最后成为了集成电路的基本原料——硅晶圆片,这就是“晶圆”。
“原来这么多的工序,这么的复杂的!”用摄子摄起一片晶圆,看着那薄薄一层的爬满格子的晶圆,杨凡感叹道。
“好神奇!”沈梦晴也叹道。
这就是工业之美,震撼人心,也是文字无法表述的。所以杨凡在知道具体的工艺流程之下,还是不如现场来看一遍,或许能得到更多的灵感。
把所有的工艺流程看完后,一个下午过去了,差不多到了下班时间。
“我们走吧!”把晶圆放回去后,杨凡看了看时间,发现时间不早了,便边向外走边说道。
“好!”沈梦晴答应了一声,跟在了后面。